JRD深冷捕集泵的优点 1.能够缩短泵抽时间的30%到80% 2.可提高生产能力30%到 3.能够快速制冷和回温,并可长期循环使用 4.可设计双路负载,同时安装在真空腔室内和油扩散泵口 5.不需要使用昂贵的液氮,能够很快收回成本
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